Parts Clean 服務說明 - 台灣銦業

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Parts Clean 服務說明

零件洗淨的目的

微粒子(Particle)減少 / 產量提高及成本之降低

本公司延續日本真空冶金關係企業台灣真空之洗淨技術

由資深工程師自行研發多元化,零組件洗淨技術

具備提供完整解決方案之服務團隊

精密洗淨方式取決於Parts材質與附著物

一般Parts材質： Quartz、PTEF、Ceramic、Al、SUS、Ti、樹脂.等

一般附著物：高分子化合物、ITO 、 SiO2氧化膜、As、Al、TiN、TiW、W、Co、Cu、Cr、 Ag、Ta、TaN等

洗淨方式區分

化學藥洗：酸洗淨、鹼洗淨、溶劑洗淨、電解洗淨、CO2洗淨

物理洗淨：噴砂洗淨、超音波洗淨、高壓水洗淨、熔射洗淨

作業程序內容

精密洗淨一般去除附著物作業洗淨

Co、Cu製程洗淨和無塵室除塵作業洗淨

物件各項尺寸、粗糙度、平坦度、Particle測定及表面變形加工校正修理

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